Seachadadh gáis leathsheoltóra: 316L EP VS . Cóimhiotal Leictreach C -276

 

Cén fáth go bhfuil 316L-EP ag fulaingt le haghaidh gáis támh?
Baineann 316L le leictreamaigh RA<0.15μm with particle shedding below 5 particles/ft³ >0 . 1μm . bailíochtaithe le haghaidh seachadadh nítrigine/argón ag 99 . 9995% íonacht. Cosnaíonn sé 40% níos lú ná cóimhiotail nicil le deimhniú coibhéiseach bailchríoch dromchla.

 

Nuair a éiríonn C -276 éigeantach?
Le haghaidh gáis hidríde (Ash₃, B₂h₆) agus comhdhúile fluairín . moluBdenum (15-17%) Coscann sé pitting ó fhotháirgí HF . Ábhar Iarainn Dromchla<0.01% prevents catalytic decomposition. Required for 3nm node fabrication.

 

Leibhéil éillithe mhiotalacha incheadaithe?
Sóidiam<0.01 ppb after 72-hour exposure. Iron <0.05 ppb at point of use. Total heavy metals (Ni+Cr+Mo) <0.1 ppb. Outgassing rate below 5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm² after vacuum baking.

 

Prótacal táthúcháin rialuithe criticiúla?
Orbital GTAW with >99.999% Argon Purge (O₂<20ppm). Heat input <15 kJ/inch prevents sensitization. Internal purge maintained until ambient temperature. Helium leak testing <1×10⁻⁹ mbar·L/s mandatory.

 

Seicheamh tástála bailíochtaithe?
Dianscaoileadh céime gaile ICP-MS do mhiotail dhromchla {. am-eitilte SIMS mapáil orgánach . Comhaireamh na gcáithníní in aghaidh an IEST-STD-CC1246D aicme 5. Anailís ar dhianscaoileadh gáis ag seirbhís insamhlaithe 400 céim ..